خط طلاء الفراغ PVD بالرش بالمغنطرون المستمر

خط طلاء فراغي متواصل من Magnetron Sputtering PVD يتمحور حول رش المغنطرون، وتعمل العملية في بيئة عالية -من الفراغ حيث تحصر المجالات الكهربائية والمغناطيسية المدمجة الإلكترونات في قصف مادة مستهدفة، ويؤدي هذا الإجراء إلى تناثر الذرات أو الجزيئات من الهدف، مما يؤدي إلى ترسيبها على سطح الركيزة المتحركة.

متوافق مع مصادر الطاقة DC، MF، وRF، يمكن للنظام ترسيب الأفلام المعدنية، وأفلام السبائك، وأفلام عازلة الأكسيد، والأفلام الوظيفية المركبة متعددة الطبقات.

نظام غرفة مستمر مع عزل مجزأ للحفاظ على تدرجات الفراغ، مع مناطق مستقلة للتغذية والطلاء والتفريغ، مما يتيح الإنتاج المستمر دون انقطاع.

ميزات المعدات

الإنتاج المستمر يلغي الحاجة إلى كسر الفراغ بشكل متكرر
تتيح حجرة القفل الفراغي- المجزأة النقل المستمر للركائز داخل وخارج المعدات، مما يقلل أوقات الانتظار للتنظيف بالمكنسة الكهربائية والتنفيس المرتبط بمعالجة الدفعات وتعزيز القدرة الإنتاجية بشكل كبير.

عملية طلاء بدرجة حرارة منخفضة-.
يمكن التحكم في ارتفاع درجة حرارة الركيزة، مما يمنع تلف الركائز المرنة والبلاستيكية الحساسة للحرارة-مثل PET، وPI، وPC، والأكريليك. كما أنه متوافق مع ركائز الزجاج والسيراميك والصفائح المعدنية.

طبقة الفيلم كثيفة وموحدة، مع التصاق قوي
يضمن تحسين المجال المغناطيسي بمساحة كبيرة- توحيدًا ممتازًا لسمك الفيلم عبر الركيزة بأكملها.

تكوين هدف مرن ومجموعة واسعة من مواد الطلاء

تصميم الآلة المعيارية، درجة عالية من التخصيص
يمكن تخصيصها وفقًا لحجم الركيزة الخاصة بالعميل، والعرض، والقدرة الإنتاجية، ومتطلبات نظام الفيلم.

التحكم الآلي PLC
شاشة اللمس HMI؛ يمكن تخزين معلمات العملية وتتبعها.

 

اللوحة الصلبة: الزجاج، السيراميك، لوحة الكمبيوتر

 

زجاج البناء والأجهزة المنزلية:

الزجاج الموفر للطاقة-E-منخفض الطاقة، وألواح الأجهزة المنزلية، والمرايا المزخرفة، وزجاج السيارات، والزجاج البصري HUD

 

صناعة الخلايا الكهروضوئية: غطاء كهروضوئي TCO فيلم موصل

 

الإلكترونيات الاستهلاكية: الزجاج الذي يعمل باللمس، والصفائح الموصلة المزخرفة PC/PMMA

 

الركيزة الخزفية: طلاء نحاسي من السيراميك DPC، طلاء معدني للوحة الدائرة الخزفية

 

صناعة الديكور: أفلام زخرفية لألواح ذات مساحة كبيرة، وأغشية وظيفية مضادة للتآكل-.

 

طلاء فراغ من النحاس والفضة وغيرها من المواد الموصلة على سطح السيراميك المكونات الكهربائية وسيراميك لوحة الدوائر.

 

كما أنها مناسبة للترسيب الفراغي لطبقات الأغشية المعدنية المختلفة على سطح الألواح الأخرى-مثل قطع العمل (الزجاج، وألواح الأكريليك، وما إلى ذلك)؛

المجال المغناطيسي يحد من البلازما

هذه هي الميزة الأساسية للرش المغنطرون. من خلال تطبيق مجال مغناطيسي قوي ذو شكل معين (عادة على شكل حلقة أو مضمار سباق) بالقرب من السطح المستهدف، يتم حصر الإلكترونات بالقرب من السطح المستهدف للقيام بحركة حلزونية، مما يزيد بشكل كبير من احتمالية تصادم وتأين الإلكترونات مع ذرات الغاز العامل (عادةً الأرجون).

ارتفاع معدل التأين وارتفاع معدل الترسيب

الحبس المجال المغناطيسي يزيد بشكل كبير من كثافة البلازما ومعدل التأين، مما يجعل عملية الاخرق أكثر كفاءة.

وهذا يعني أنه عند ضغط الغاز المنخفض نسبيًا والجهد/الطاقة المتخرقة المنخفضة، يمكن تحقيق معدلات ترسيب وترسيب أعلى بكثير من التخرق التقليدي بالتيار المستمر.

عملية درجة حرارة منخفضة

وبما أن معظم الطاقة تستخدم لتأيين الغاز وذرات الهدف، يتم نقل حرارة قليلة نسبيًا إلى الركيزة.

نوعية الفيلم جيدة

كثافة جيدة، التصاق قوي، درجة نقاء عالية وتوحيد جيد.

مجموعة واسعة من القدرة على التكيف المواد

القدرة على التحكم في العملية بشكل جيد

لقد أصبح خط إنتاج الطلاء بالرش المغنطروني أحد التقنيات السائدة لإعداد الأغشية الرقيقة الوظيفية (مثل الأغشية الضوئية، والأغشية الموصلة، والأغشية الصلبة-المقاومة للتآكل، والأغشية المزخرفة، والأغشية المضادة-للتآكل، والأغشية المغناطيسية، وأغشية أشباه الموصلات، وما إلى ذلك) في الصناعة الحديثة نظرًا لميزاتها ومزاياها الأساسية مثل معدل الترسيب العالي، ومعالجة درجات الحرارة المنخفضة، وجودة الفيلم الممتازة (مدمجة، والتصاق قوي)، والقدرة على التكيف مع المواد على نطاق واسع، والتوحيد الجيد، وإمكانية التحكم.